1. 高穩(wěn)定性大理石底座及C型架 

    機(jī)器底座和C型架均采用大理石，大理石的主要特點(diǎn)如下： 

    (1).大理石經(jīng)過長期天然時(shí)效，內(nèi)應(yīng)力完全消失，材質(zhì)穩(wěn)定，不會(huì)變形。 

    (2).膨脹系數(shù)小，受溫度影響小。 

    (3).大理石組織結(jié)構(gòu)精密，表面光滑耐磨。 

    (4).耐酸，耐堿，抗腐蝕，抗磁。 

    (5).不會(huì)受潮生銹，使用，維護(hù)方便。 

    (6).因此使用大理石作為底座，可以保證導(dǎo)軌及絲桿等運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的長期穩(wěn)定性，降低運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的磨損，提高設(shè)備使用壽命。

    (7).使用大理石作為C型固定架，可以保證激光位移傳感器在設(shè)備掃描過程中更加穩(wěn)定，提高測量精度及穩(wěn)定性。 

2. 獨(dú)特的激光位移傳感器固定設(shè)計(jì)

    兩個(gè)激光位移傳感器的對(duì)齊度對(duì)設(shè)備的測量精度及抗極片波動(dòng)能力起著至關(guān)重要的作用。兩個(gè)傳感器通過精密加工的固定塊及微動(dòng)平臺(tái)固定在大理石C型架上。兩個(gè)微動(dòng)平臺(tái)可以分別向兩個(gè)方向調(diào)節(jié)傳感器固定位置并鎖死。通過這種設(shè)計(jì)既確保了激光位移傳感器的固定牢度，又能讓傳感器的位置可調(diào)。保證兩個(gè)激光位移傳感器的對(duì)齊度達(dá)到微米級(jí)。 

3. 精巧的校準(zhǔn)及自校準(zhǔn)設(shè)計(jì)

    設(shè)備通過兩片500μm的陶瓷片作為校準(zhǔn)參考物，陶瓷質(zhì)地堅(jiān)硬，性質(zhì)穩(wěn)定，不易磨損。以陶瓷作為校準(zhǔn)片可以保證設(shè)備校準(zhǔn)不會(huì)出現(xiàn)偏差。 

    一枚陶瓷片固定在精巧的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)上，可以快速精確的校準(zhǔn)兩個(gè)傳感器的對(duì)齊度，此結(jié)構(gòu)已經(jīng)申請(qǐng)專利。

4. 細(xì)致入微的硬件調(diào)試