CDM厚度面密度測量一體機

應(yīng)用場合
涂布工序:在線檢測極片微小特征，常見的極片微小特征:漏涂、缺料(未漏集流體，且與正常涂覆區(qū)灰度差異小，CCD無法識別)、刮痕、削薄區(qū)厚度輪廓、AT9厚度檢測等。

CDM技術(shù)檢測特點
情景1:極片表面有2mm寬的漏涂/少涂,且一側(cè)邊緣削薄偏厚。
射線光斑>20mm,其測量原始數(shù)據(jù)的輪廓形狀下圖橙色線;激光光斑<0.05mm,其測量原始數(shù)據(jù)的輪廓形狀下圖藍色線
激光光斑空間分辨力高于射線光斑,可以清晰測量出極片輪廓。

情景2:在線測量削薄區(qū)0.1mm寬度厚度輪廓數(shù)據(jù)

軟件特色

技術(shù)參數(shù)