應用場合

• 光學膜涂布、太陽能晶圓、超薄玻璃、膠帶、Mylar膜、OCA光學膠、光阻等測量。

• 應用在涂膠工序時，該設備可放置于涂膠池后、烘箱前，在線測量涂膠的厚度; 也可以在線測量離型膜涂布的厚度。其精度極高，應用甚廣，尤其適合厚度要求達到納米級的透明多層物體的厚度測量。

產品性能/參數

測量范圍: 0.1pm~100μm

測量精度: 0.4%

測量重復性: ±0.4nm (3σ )

波長范圍: 380nm~1100nm

響應時間: 5~500ms

測量光斑: 1mm~30mm

動態掃描測量重復性:10nm