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薄膜測厚
應用場合
鋰電池涂布工序或輥壓工序極片厚度的檢測。
測量原理
測厚模塊:兩個激光位移傳感器上下對射的方式組成,兩個傳感器分別測量被測體上表面的位置和下表面的位置,通過計算得到被測體的厚度。
設備亮點
隔震設計
上下激光同軸度精準保證
高精度位移傳感器
一鍵標定
軟件界面
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